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曝光机工作原理

2022-04-26 17:35:51

曝光机是20世纪60年初扫描电子显微镜基础发展而来的一种新光刻技术 ,在70年代后广泛应用于半导体电路板生产制造。曝光机即电子串曝光机,是集电子光学、机械、真空、电气、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。


  在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光,受电子束辐照后的光刻胶,其物理化学性质发生变化,在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域,从而在抗蚀剂上形成精细图形。根据电路板的线路的粗细来决定上下光源的曝光能量,能量不足电路板无法曝光,要是能量过高电路板就会过曝,所以在曝光电路板时,须先测试电路板所需的能量,从而进行电路板的曝光生产。


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