
序号 | 项目 | 详细说明 | |
1 | 光源 | 灯管类型 | LED |
2 | 灯管厂家(品牌) | 日本 | |
3 | 灯管波长 | 365nm 365+405nm | |
4 | 灯管光强 | 新灯管光强强度5-50MW/CM2 | |
5 | 均匀度要求(9点测量) | 均匀度≥95% | |
6 | 平行半角≤2度 | 利用光斑计算三角形的直角边得到夹角 | |
7 | 灯管保证使用寿命(H) | 20000H | |
8 | 对位 | CCD | 4个(红外黄光) |
9 | CCD分辨率(像素) | 200万 | |
10 | 对位方式 | 自动抓靶对位 | |
11 | 对位形式 | A.上底片与下底片之间自动对位。 | |
12 | 对位精度 | 一次熔丝上下菲林对位精度小于15um | |
13 | 解析能力 | 最小解析线宽能力 | 25um |
14 | 性能要求 | 制作板子厚度 | 0.1--2mm |
15 | 有效曝光面积 | 6*6英寸(实际曝光面积需要大于6*6英寸) | |
16 | 产能要求 | 3-4片/min,从上板到下板 | |
17 | 操作方式 | 触控式操作界面 | |
18 | 曝光方式 | 双面曝光 | |
19 | 底片安装方式 | 上下底片真空吸附,自动安装。 | |
20 | 作业产品 | 干膜 | |
21 | 机台尺寸 | 高*长*宽:1800*1200*1200 | |
22 | 真空值、真空均匀性能力 | 大于-80kpa | |
23 | 台面平整性 | ≤0.1mm | |
24 | 底片架设 | 半自动 | |
25 | 作业方式 | 底片安装(作业员)→放入基板后(作业员)→上下底片自动对位(上下底片与产品自动对位)→对位判定OK后→开始抽真空→真空达到要求后进行自动曝光→曝光完成后自动出料(曝光结束) | |
28 | 附加功能 | 数据存储、 | 可增加扫码功能,作业,对位数据存储 |