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陶瓷曝光机

2021-11-06 09:10:13
陶瓷曝光机
详细介绍:

    序号


    项目

    详细说明

    1

    光源

    灯管类型

    LED

    2

    灯管厂家(品牌)

    日本

    3

    灯管波长

    365nm 365+405nm

    4 

    灯管光强

    新灯管光强强度5-50MW/CM2

    5 

    均匀度要求(9点测量)

                                                            均匀度≥95%

    6 

    平行半角≤2度

    利用光斑计算三角形的直角边得到夹角

    7

    灯管保证使用寿命(H)

    20000H

    8

    对位

    CCD

    4个(红外黄光)

    9

    CCD分辨率(像素)

    200万

    10

    对位方式

    自动抓靶对位

    11

    对位形式

    A.上底片与下底片之间自动对位。
      B.上底片与制程板之间自动对位(孔或PAD)

    12

    对位精度

    一次熔丝上下菲林对位精度小于15um
      二次菲林与产品对位精度小于15um

    13

    解析能力

    最小解析线宽能力

    25um

    14

    性能要求

    制作板子厚度

    0.1--2mm

    15

    有效曝光面积

    6*6英寸(实际曝光面积需要大于6*6英寸)

    16

    产能要求

    3-4片/min,从上板到下板

    17

    操作方式

    触控式操作界面

    18

    曝光方式

    双面曝光

    19

    底片安装方式

    上下底片真空吸附,自动安装。

    20

    作业产品

    干膜

    21

    机台尺寸

    高*长*宽:1800*1200*1200

    22

    真空值、真空均匀性能力

    大于-80kpa

    23

    台面平整性

    ≤0.1mm

    24

    底片架设

    半自动

    25

    作业方式

    底片安装(作业员)→放入基板后(作业员)→上下底片自动对位(上下底片与产品自动对位)→对位判定OK后→开始抽真空→真空达到要求后进行自动曝光→曝光完成后自动出料(曝光结束)

    28

    附加功能

    数据存储、

    可增加扫码功能,作业,对位数据存储



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